ÀÌÀç¿ë »ï¼ºÀüÀÚ È¸ÀåÀÌ ¾à ÀÏÁÖÀÏ°£ÀÇ À¯·´ ÃâÀåÀ» ¸¶Ä¡°í 3ÀÏ ±èÆ÷°øÇ×À» ÅëÇØ ±Í±¹Çß´Ù.
À̳¯ ¿ÀÀü 7½Ã28ºÐ²² µµÂøÇÑ ÀÌ È¸ÀåÀº ÃâÀåÀÇ ¼º°ú¸¦ ¹¯´Â ÃëÀçÁø¿¡ "º½ÀÌ ¿Ô³×¿ä"¶ó°í ¸»Çß´Ù. Àý±â»ó º½ÀÌ ¿Ô´Ù´Â Àǹ̸¦ ³Ñ¾î ¡®¹ÝµµÃ¼ÀÇ º½¡¯ÀÌ ¿Ô´Ù´Â Àǹ̷ΠÇؼ®µÈ´Ù. À̹ø À¯·´ ÃâÀå¿¡¼µµ ÀÌ È¸ÀåÀº ¹ÝµµÃ¼¿Í °ü·ÃÇØ Áß¿äÇÑ Çຸ¸¦ ¹â¾Ò´Ù. Áö³´Þ 26ÀÏ¿¡´Â µ¶ÀÏ ¿À¹öÄÚÇî¿¡ ÀÖ´Â ÀÚÀ̽º(ZEISS) º»»ç¸¦ ¹æ¹®ÇØ Ä® ¶÷ÇÁ·¹È÷Æ® ÃÖ°í°æ¿µÀÚ(CEO) µî °æ¿µÁøÀ» ¸¸³ª ¾ç»ç Çù·Â °È ¹æ¾ÈÀ» ³íÀÇÇß´Ù. ÀÚÀ̽º´Â ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¿¡ ÇÊ¿äÇÑ EUV(extreme ultraviolet) ±â¼ú°ú °ü·ÃÇØ ÇÙ½É Æ¯Ç㸦 2000°³ ÀÌ»ó º¸À¯ÇÏ°í ÀÖ´Â ±Û·Î¹ú ±¤ÇÐ ±â¾÷ÀÌ´Ù. ASMLÀÇ EUV Àåºñ¿¡ žÀçµÇ´Â ±¤ÇÐ ½Ã½ºÅÛÀ» µ¶Á¡ °ø±ÞÇÏ°í ÀÖ´Ù. EUV Àåºñ 1´ë¿¡ µé¾î°¡´Â ÀÚÀ̽º ºÎÇ°Àº 3¸¸°³ ÀÌ»óÀÌ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ´Â ÀÌ·¯ÇÑ ÀÚÀ̽º¿Í ÇâÈÄ EUV ±â¼ú ¹× ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ °ü·Ã ºÐ¾ß¿¡¼ÀÇ Çù·ÂÀ» ´õ¿í È®´ëÇϱâ·Î Çß´Ù. ¶Ç EUV ±â¼ú·ÂÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ÆÄ¿îµå¸® ½ÃÀå¿¡¼ 3³ª³ë ÀÌÇÏ Ãʹ̼¼°øÁ¤ ½ÃÀåÀ» ÁÖµµÇÏ°í ¿¬³»¿¡ EUV °øÁ¤À» Àû¿ëÇØ 6¼¼´ë 10³ª³ë±Þ D·¥À» ¾ç»êÇÒ °èȹÀÌ´Ù. ÀÚÀ̽ºµµ 2026³â±îÁö 480¾ï¿øÀ» ÅõÀÚÇØ Çѱ¹ ¿¬±¸°³¹ß(R&D) ¼¾Å͸¦ ±¸ÃàÇÒ ¹æħÀÌ¾î¼ ¾ç»çÀÇ Àü·«Àû Çù·ÂÀº ÇÑÃþ °ÈµÉ °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ.
ÀÌ È¸ÀåÀº À̾î Áö³´Þ 27ÀÏ ÀÌÅ»¸®¾Æ ¹ÙƼĿ¡ ÀÖ´Â »çµµ±Ã¿¡¼ ÇÁ¶õÄ¡½ºÄÚ ±³È²À» °³ÀÎ ¾ËÇöÇß´Ù. ÀÌ È¸ÀåÀÌ ±³È²À» ¸¸³ °ÍÀº À̹øÀÌ Ã³À½ÀÌ´Ù. ÀÌ È¸ÀåÀº ±³È²°ú ÁغñÇÑ ±â³äÇ°À» ±³È¯Çß°í, ±³È²Àº ÀÌ È¸Àå°ú »ï¼º ´ëÇ¥´Ü¿¡ ´ö´ã°ú ÃູÀÇ ¸»À» °Ç³Þ´Ù. ÀÌ È¸ÀåÀº 2022³â 7¿ù ¹ÙƼÄÀ» ¹æ¹®ÇØ ±³È²Ã» ¼ºÁ÷ÀںΠÀå°üÀÎ À¯Èï½Ä Ãß±â°æÀÇ ÀÓ¸íÀ» ÃàÇÏÇß°í ±×¶§ºÎÅÍ ½ÏÆ° Àο¬ÀÌ ±³È²°úÀÇ ¸¸³²À¸·Î À̾îÁ³´Ù. À̹ø ¸¸³²Àº »ï¼ºÀüÀÚÀÇ ¿Á¿Ü Àü±¤ÆÇ ±âºÎ¿¡ ±³È²Ã»ÀÌ ´ä·ÊÇÏ´Â Àǹ̵µ Æ÷ÇÔµÈ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ´Â Áö³ÇØ ¿©¸§ ¹ÙÆ¼Ä ¼º º£µå·Î ±¤Àå¿¡ ¿Á¿Ü Àü±¤ÆÇ 4´ë¸¦ ¼³Ä¡Çß´Ù. Áö³ÇØ 9¿ù ÃʺÎÅÍ º»°Ý °¡µ¿µÈ »ï¼ºÀüÀÚ ¿Á¿Ü Àü±¤ÆÇÀº LED »çÀÌ´ÏÁö Á¦Ç°À¸·Î, Çػ󵵰¡ ¶Ù¾î³ª ÇÞºû ¼Ó¿¡¼µµ ¶Ù¾î³ ÈÁúÀ» ±¸ÇöÇÑ´Ù. ±³È²Ã»Àº Àü ¼¼°è¿¡¼ ¾à 3000¸¸¸íÀÇ ¼ø·Ê°´ÀÌ ¹ÙƼÄÀ» ¹æ¹®ÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÇ´Â ³»³â °¡Å縯 Èñ³âÀ» ¾ÕµÎ°í ¼Õ´Ô¸ÂÀÌ¿¡ µµ¿òÀ» ÁØ »ï¼ºÀüÀÚ¿¡ ±íÀº °¨»ç¸¦ Ç¥ÇÑ °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁ³´Ù.
±èÇü¹Î ±âÀÚ khm193@asiae.co.kr <¨ÏÅõÀÚ°¡¸¦ À§ÇÑ °æÁ¦ÄÜÅÙÃ÷ Ç÷§Æû, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦ ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö> |