[¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦ ¹ÚÇü¼ö ±âÀÚ] ¿µÃ¢ÄɹÌÄ®ÀÌ °¼¼´Ù. ±¹³» ±â¾÷ ÃÖÃÊ·Î ±ØÀڿܼ±(EUV) ¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤ °øÁ¤¿ë ¸°½º °³¹ßÀ» ¾ÕµÎ°í ÀÖ´Ù´Â ¼Ò½ÄÀÌ ÁÖ°¡¿¡ ¿µÇâÀ» ÁÖ´Â °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ.
12ÀÏ ¿ÀÀü 9½Ã15ºÐ ¿µÃ¢ÄɹÌÄ®Àº Àü³¯º¸´Ù 6.14% ¿À¸¥ 1¸¸4700¿ø¿¡ °Å·¡µÇ°í ÀÖ´Ù.
¿µÃ¢ÄɹÌÄ®Àº ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ µî ÃÊÁ¤¹Ð »ê¾÷¿ë ÈÇмÒÀç Àü¹® ±â¾÷À¸·Î ¿ÃÇØ 7¿ù ÄÚ½º´Ú ½ÃÀå¿¡ »óÀåÇß´Ù. ¿µÃ¢ÄɹÌÄ®Àº ÇØ´ç °øÁ¤¿¡ ´ëÇÑ Å×½ºÆ® ¸·¹ÙÁö ´Ü°è¿¡ µé¾î¼¹´Ù. ¿¬³» ½ÃÁ¦Ç° °øÁ¤ Å×½ºÆ®¸¦ ¿Ï·áÇØ º»°ÝÀûÀÎ »ó¾÷ »ý»êÀ» °³½ÃÇÏ°í ±Û·Î¹ú ½ÃÀå¿¡ ÁøÃâÇÒ °èȹÀ̶ó°í ¼³¸íÇß´Ù.
µ¶ÀÏ M»ç¿Í »ó¿ëÈ °æÀïÀÌ Ä¡¿ÇÑ Á¦Ç°À¸·Î ¿µÃ¢ÄɹÌÄ®ÀÇ EUV ¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤ °øÁ¤¿ë ¸°½º °³¹ßÀº ±¹³» ±â¾÷À¸·Î´Â ù »ç·Ê´Ù. ¿µÃ¢ÄɹÌÄ®Àº ÇØ¿Ü ½ÃÀå È®´ë ¹× ºü¸¥ ½ÃÀå ¼±Á¡À» À§ÇØ »ý»ê ¼³ºñ ÅõÀÚ ¹× Áõ¼³À» ÃßÁø ÁßÀÌ´Ù. »ó¿ëÈ ÀÌÈÄ Áö¼ÓÀûÀÎ ¸ÅÃâ È®´ë ¹× ¼öÀͼº Áõ´ë°¡ °¡´ÉÇÒ °ÍÀ¸·Î ȸ»ç ÃøÀº ±â´ëÇß´Ù.
¡®EUV ¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤ °øÁ¤¿ë ¸°½º¡¯´Â Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®(PR. Photoresist) ¿þÀÌÆÛ ³ë±¤ °øÁ¤ ÈÄ ³ë±¤ ÆÐÅÏÀÇ °áÇÔÀ̳ª ºØ±«¸¦ °¨¼Ò½ÃÅ°´Â ±â´É¼º ¼¼Á¤Á¦´Ù. ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê ¼öÀ²¿¡ °áÁ¤ÀûÀÎ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡´Â Á¦Ç°ÀÌ´Ù. Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®´Â ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ¿Í µð½ºÇ÷¹ÀÌ ¹Ú¸· Æ®·£Áö½ºÅÍ Ç¥¸é µî¿¡ ¹Ì¼¼ ȸ·Î¸¦ Çü¼ºÇϱâ À§ÇØ »ç¿ëµÇ´Â °¨±¤¹ÝÀÀ ¹°ÁúÀÌ´Ù.
EUV´Â ºÒȾƸ£°ï(ArF) ±¤¿ø ´ëºñ ÆÄÀå ±æÀÌ°¡ 14ºÐÀÇ 1·Î ª¾Æ 1³ª³ë¹ÌÅÍ(nm) ¼öÁØÀÇ ¼¼¹ÐÇÑ ÆÐÅÏ Á¦ÀÛÀÌ °¡´ÉÇÏ°í °øÁ¤ ¼ö°¡ Àû¾î »ý»ê¼ºµµ ³ôÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù. EUV ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤Àº ÇâÈÄ 10¿© ³â°£ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ ÇÙ½É °øÁ¤ÀÌ µÉ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù. ÀÌ¿¡ EUV ¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤ °øÁ¤¿ë ¸°½º´Â ÀÌ °øÁ¤ÀÇ ÁÖ¿ä ¼ÒÀç·Î¼ ½ÃÀåÀÌ Áö¼Ó È®´ëµÉ °ÍÀ¸·Î ȸ»ç ÃøÀº Àü¸ÁÇÏ°í ÀÖ´Ù.
¿µÃ¢ÄɹÌÄ® °ü°èÀÚ´Â "½ÇÁ¦·Î EUV ³ë±¤ Àåºñ ±Û·Î¹ú µ¶Á¡ ±â¾÷ÀÎ A»ç´Â Áö³ÇØ 42´ëÀÇ Àåºñ¸¦ °ø±ÞÇߴµ¥, ¿ÃÇØ´Â 55´ë, ³»³â¿¡´Â 60´ë±îÁö °ø±Þ·®ÀÌ ´Ã¾î³¯ °ÍÀ¸·Î ³»´Ùº¸°í ÀÖ´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù.
À̾î "EUV ³ë±¤ Àåºñ È®´ë´Â EUV ³ë±¤ ¸°½º ¼ö¿ä Áõ´ë·Î À̾îÁø´Ù"¸ç "¿µÃ¢ÄɹÌÄ®Àº ¿ÃÇØ Ãʵµ ¸ÅÃâÀ» ½ÃÀÛÀ¸·Î Áö¼ÓÀûÀÎ ¸ÅÃâ È®´ë¸¦ À̾ ¼ö ÀÖÀ» °Í"À̶ó°í °Á¶Çß´Ù.
¿µÃ¢ÄɹÌÄ®Àº ¿ÃÇØ 2ºÐ±â º°µµ ±âÁØÀ¸·Î ¸ÅÃâ 205¾ï3400¸¸¿ø, ¿µ¾÷ÀÌÀÍ 16¾ï5000¸¸¿øÀ» ±â·ÏÇß´Ù. Áö³ÇØ °°Àº ±â°£ ´ëºñ ¸ÅÃâ°ú ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº °¢°¢ 32.3%, 129.7% Áõ°¡Çß´Ù. ¹ÚÇü¼ö ±âÀÚ parkhs@asiae.co.kr
|