ÄÍÆ®·Î´Ð½º°¡ °¼¼´Ù. ¿Ã 1ºÐ±â ¿µ¾÷ÀÌÀÍ 125¾ï¿øÀ» ±â·ÏÇÏ¸é¼ Àü³â µ¿±â ´ëºñ ÈæÀÚ ÀüȯÇß´Ù´Â ¼Ò½ÄÀÌ ÁÖ°¡¿¡ ¿µÇâÀ» ÁÖ´Â °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ.
16ÀÏ ¿ÀÀü 11½Ã32ºÐ ÄÍÆ®·Î´Ð½º´Â Àü³¯º¸´Ù 22.28% ¿À¸¥ 3¸¸4850¿ø¿¡ °Å·¡µÇ°í ÀÖ´Ù.
ºÐ±âº¸°í¼¿¡ µû¸£¸é ¿¬°á±âÁØ 1ºÐ±â¿¡ ¸ÅÃâ¾× 1475¾ï¿ø, ¿µ¾÷ÀÌÀÍ 125¾ï¿øÀ» ±â·ÏÇß´Ù. ¸ÅÃâ¾×Àº Àü³â µ¿±â ´ëºñ 12% Áõ°¡Çß°í, ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº ÈæÀÚ ÀüȯÇß´Ù.
ÄÍÆ®·Î´Ð½º´Â ¹ÝµµÃ¼ ±ØÀڿܼ±(EUV) ³ë±¤ °øÁ¤ÀÇ ÇÙ½É Àç·áÀÎ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®(PR)¸¦ ±¸¼ºÇÏ´Â PGMEA(ÇÁ·ÎÇÊ·»±Û¸®ÄÝ ¸ÞÆ¿ ¿¡Å׸£ ¾Æ¼¼Æ®»ê)¸¦ ¼øµµ 99.999%(5N)·Î ½Ã»ý»êÇÏ´Â µ¥ ¼º°øÇØ ¾ç»ê Áß´Ù. ¿ÃÇØ »ó¹Ý±âºÎÅÍ º»°ÝÀûÀ¸·Î ¾ç»êÇϱâ À§ÇÑ ÃÖÁ¾ °í°´»çÀÇ Ç°Áú½ÂÀÎÀÛ¾÷ÀÌ ÁøÇà ÁßÀÌ´Ù.
PGMEA´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ´ëÇ¥ÀûÀÎ ¿ëÁ¦·Î ¹ÝµµÃ¼¿ë ½Ã³Ê(Thinner)·Î Á¦Á¶ÇØ ³ë±¤ °øÁ¤¿¡¼ °¨±¤ ¹ÝÀÀÀÌ ÀϾÁö ¾ÊÀº ºÎºÐ¿¡ ¹¯Àº °¨±¤¹°ÁúÀ» ¾Ä¾î³»´Â ¿ªÇÒÀ» ÇÑ´Ù. ÄÍÆ®·Î´Ð½ºÀÇ PGMEA °æÀï·ÂÀº 5N±Þ ¼øµµ·Î ±Ý¼Ó¼º ÀÜ·ù¹°¿¡ ÀÇÇÑ ³ë±¤ ¶§ ºÒ·®À» ÇöÀúÈ÷ ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù´Â Á¡ÀÌ´Ù. ģȯ°æ¼ºÀ» È®º¸ÇÑ Á¡¿¡ Å« ¼º°ú¸¦ º¸Àδٰí ÄÍÆ®·Î´Ð½º´Â ¼³¸íÇß´Ù.
PGMEA¿¡´Â ÀáÀçÀû µ¶¼º¹°ÁúÀÎ 'À̼ºÁúü(º£Å¸-¾ÆÀ̼ҸÓ)'¶ó´Â ¹°ÁúÀÌ Àִµ¥ ±Û·Î¹ú ±â¾÷Àº À̼ºÁúü ³óµµ·Î 10ppm(100¸¸ºÐÀÇ 1À» ³ªÅ¸³»´Â ´ÜÀ§) ¹Ì¸¸À» ¿ä±¸ÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÄÍÆ®·Î´Ð½º´Â º£Å¸-¾ÆÀÌ¼Ò¸Ó ¹°ÁúÀ» 1.5ppm ¼öÁØÀ¸·Î ³·Ãß´Â ¼º°ú¸¦ º¸ÀÌ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
ÄÍÆ®·Î´Ð½º PGMEA ÇÕ¼º °æÀï·ÂÀº 5N ÃÊ°í¼øµµ¶ó´Â Á¡°ú ±Ý¼Ó¼º ºÒ¼ø¹°ÀÌ ppb(10¾ïºÐÀÇ 1)´ÜÀ§·Î ÃÊ ±Ø¼Ò·®¸¸ ÇÔÀ¯µÈ´Ù´Â Á¡À» ²ÅÀ» ¼ö ÀÖ´Ù. ³ë±¤ °øÁ¤½Ã ±Ý¼Ó¼º ºÒ¼ø¹°·Î ÀÎÇÑ ºûÀÇ ºÐ»ê ¹× ±¼ÀýÀ» ¹æÁöÇØ ¼öÀ² Çâ»ó¿¡ ±â¿©ÇÑ´Ù.
³²±ÃÇö ½ÅÇÑÅõÀÚÁõ±Ç ¿¬±¸¿øÀº "PRÇâ PGMEA Ä÷ Å×½ºÆ® Åë°ú¿Í ±Û¶ó½º ±âÆÇ ¾÷üÀÇ °ø°ÝÀûÀÎ °ø±Þ¸Á ±¸Ãà¿¡ µû¸¥ TGV°øÁ¤ ÁøÀÔÀ¸·Î ¹ÝµµÃ¼ »ç¾÷ È®Àå °¡½Ãȵµ ±â´ëÇÑ´Ù"¸ç "¿¬¸» 8¼¼´ë ÇÏÀ̺긮µå OLED ½Ã¾ç»ê Áغñ¿¡ µû¸¥ ¼ºÀ嵿·Âµµ º¸À¯ÇÏ°í ÀÖ´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù. ¿ÃÇØ ¸ÅÃâ¾× 6224¾ï¿ø, ¿µ¾÷ÀÌÀÍ 529¾ï¿øÀ» ´Þ¼ºÇÒ °ÍÀ¸·Î ÃßÁ¤Çß´Ù.
ÇÑÆí »ï¼ºÀüÀÚ´Â EUV ±â¼ú·ÂÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ÆÄ¿îµå¸® ½ÃÀå¿¡¼ 3³ª³ë ÀÌÇÏ Ãʹ̼¼°øÁ¤ ½ÃÀåÀ» ÁÖµµÇÏ°í ¿¬³»¿¡ EUV °øÁ¤À» Àû¿ëÇØ 6¼¼´ë 10³ª³ë±Þ D·¥À» ¾ç»êÇÒ °èȹÀÌ´Ù. ÀÌÀç¿ë »ï¼ºÀüÀÚ È¸ÀåÀº Áö³´Þ µ¶ÀÏ ¿À¹öÄÚÇî¿¡ ÀÖ´Â ÀÚÀ̽º(ZEISS) º»»ç¸¦ ¹æ¹®ÇØ Ä® ¶÷ÇÁ·¹È÷Æ® ÃÖ°í°æ¿µÀÚ(CEO) µî °æ¿µÁøÀ» ¸¸³ª ¾ç»ç Çù·Â °È ¹æ¾ÈÀ» ³íÀÇÇß´Ù. ÀÚÀ̽º´Â ASMLÀÇ EUV Àåºñ¿¡ žÀçµÇ´Â ±¤ÇÐ ½Ã½ºÅÛÀ» µ¶Á¡ °ø±ÞÇÏ°í ÀÖ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ´Â ÀÚÀ̽º¿Í ÇâÈÄ EUV ±â¼ú ¹× ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ °ü·Ã ºÐ¾ß¿¡¼ÀÇ Çù·ÂÀ» ´õ¿í È®´ëÇϱâ·Î Çß´Ù.
¹ÚÇü¼ö ±âÀÚ parkhs@asiae.co.kr <¨ÏÅõÀÚ°¡¸¦ À§ÇÑ °æÁ¦ÄÜÅÙÃ÷ Ç÷§Æû, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦ ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö> |